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Schlagwort Plasmadiagnostik
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Handbook of advanced plasma processing techniques
/ R. J. Shul ; S. J. Pearton (ed.). - Berlin : Springer, 2000. - XVI, 653 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Physics and astronomy online library)
ISBN 978-3-540-66772-8 / 3-540-66772-5 Pp. : DM 249.00
Literaturangaben
Quelle: DNB
Stratil, Peter: Optische In-situ-Meßtechniken bei der Entwicklung und Anwendung von plasmaunterstützten Oberflächentechniken für räumlich ausgedehnte und komplexe Geometrien ; mit 14 Tabellen
/ Peter Stratil. - Berlin : Springer, 1998. - 146 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (IPA-IAO-Forschung und Praxis; Bd. 265)
ISBN 978-3-540-64400-2 / 3-540-64400-8 kart. : DM 88.00
Quelle: DNB
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