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Schlagwort Plasmaätzen
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Lill, Thorsten: Atomic layer processing
: semiconductor dry etching technology / Thorsten Lill. - Weinheim : Wiley-VCH, 2021. - XIV, 284 Seiten : Illustrationen; 25 cm, 584 g
ISBN 978-3-527-34668-4 / 3-527-34668-6 Broschur : circa EUR 109.00 (DE) (freier Preis)
Quelle: DNB
Handbook of advanced plasma processing techniques
/ R. J. Shul ; S. J. Pearton (ed.). - Berlin : Springer, 2000. - XVI, 653 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Physics and astronomy online library)
ISBN 978-3-540-66772-8 / 3-540-66772-5 Pp. : DM 249.00
Literaturangaben
Quelle: DNB
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