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Schlagwort Oberflächenschaden
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Holz, Bernhard Frank: Oberflächenqualität und Randzonenbeeinflussung beim Planschleifen einkristalliner Siliciumscheiben

/ Bernhard Frank Holz. - München : Hanser, 1994. - III, 184 S. : graph. Darst.; 21 cm - (Produktionstechnik - Berlin; 143)

ISBN 978-3-446-17801-4 / 3-446-17801-5 kart.

Quelle: DNB

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