Hilleringmann, Ulrich: Mikrosystemtechnik auf Silizium
/ Ulrich Hilleringmann. - Stuttgart : Teubner, 1995. - VIII, 229 S. : Ill., graph. Darst.; 23 cm
ISBN 978-3-519-06158-8 / 3-519-06158-9 kart. : DM 68.00, sfr 68.00, S 531.00
Literaturverz. S. 210 - 224
Quelle: DNB
Menz, Wolfgang: Mikrosystemtechnik für Ingenieure
/ Wolfgang Menz ; Peter Bley. - Weinheim : VCH, 1993. - XVI, 331 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm
ISBN 978-3-527-29003-1 / 3-527-29003-6 Pp. : DM 88.00
Literaturverz. S. 315 - 320
Quelle: DNB
Menz, Wolfgang: Mikrosystemtechnik für Ingenieure
/ W. Menz ; J. Mohr. - 2., erw. Aufl. - Weinheim : VCH, 1997. - XVI, 433 S. : Ill., graph. Darst.; 25 cm
ISBN 978-3-527-29405-3 / 3-527-29405-8 Kunststoff : DM 128.00
Literaturverz. S. 415 - 423
Quelle: DNB
Menz, Wolfgang: Mikrosystemtechnik für Ingenieure
/ Wolfgang Menz ; Jürgen Mohr ; Oliver Paul. - 3., vollst. überarb. und erw. Aufl. - Weinheim : Wiley-VCH, 2005. - XVI, 574 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm
ISBN 978-3-527-30536-0 / 3-527-30536-X kart. : EUR 79.00, sfr 116.00
Literaturverz. S. 545 - 564
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
Mikrosystemtechnik-Kongress 2005
: 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg ; gemeinsame Veranstaltung von: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ... / organisiert von: GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik ... Chairman: Roland Zengerle. - Berlin : VDE-Verl., 2005. - 880 S. : Ill., graph. Darst.; 30 cm
ISBN 978-3-8007-2926-5 / 3-8007-2926-1 kart. : EUR 170.00, sfr 269.00 (mit CD-ROM)
Beitr. teilw. dt., teilw. engl. - Literaturangaben
Quelle: DNB
MikroSystemTechnik Kongress 2019
: Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration - Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz : proceedings 28.-30. Oktober 2019 in Berlin / chairman: Prof. Dr. Klaus-Dieter Lang, TU Berlin, Fraunhofer IZM. - Berlin : VDE VERLAG GMBH, 2019. - 1 CD-ROM; 60 g
ISBN 978-3-8007-5090-0 / 3-8007-5090-2 : EUR 325.00 (DE), EUR 325.00 (AT)
Quelle: DNB
MikroSystemTechnik Kongress 2021
: Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - innovative Produkte für zukunftsfähige Märkte : proceedings, 8.-10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg / Chairman: Prof. Dr.-Ing. Joachim Burghartz, Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) und Universität Stuttgart. - Berlin : VDE VERLAG GMBH, 2021. - 1 CD-ROM; 60 g
ISBN 978-3-8007-5656-8
Quelle: DNB
MikroSystemTechnik Kongress 2023
: Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität : proceedings, 23.-25. Oktober 2023, Dresden / chairman: Prof. Hubert Lakner, Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS, Dresden [und weitere]. - Berlin : VDE VERLAG GMBH, 2023. - 1 CD-ROM; 56 g
ISBN 978-3-8007-6203-3 / 3-8007-6203-X : EUR 340.00 (DE), EUR 340.00 (AT)
Quelle: DNB
Dötzel, Wolfram: Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine
: [Vortrag, gehalten in der Plenarsitzung am 11. März 2005] / Wolfram Dötzel. Sächsische Akademie der Wissenschaften zu Leipzig. - Stuttgart : Hirzel, 2006. - 25 S. : Ill., graph. Darst.; 22 cm - (Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig, Technikwissenschaftliche Klasse; Bd. 2, H. 1)
ISBN 978-3-7776-1443-4 / 3-7776-1443-2 geh. : EUR 9.00, sfr 14.40
Quelle: DNB
Mobil mit Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
: Vorträge der GMM-Fachtagung anläßlich des VDE-Kongresses '98 am 21. und 22. Oktober 1998 in Stuttgart / Veranst.: VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM). Wiss. Tagungsleitung: Herbert Reichl. - Berlin : VDE-Verl., 1998. - 126 S. : Ill., graph. Darst.; 30 cm - (GMM-Fachbericht; 23)
ISBN 978-3-8007-2392-8 / 3-8007-2392-1 kart. : DM 82.00, sfr 74.50, S 599.00
Literaturangaben
Quelle: DNB
