Wortmann, Andreas: Entwicklung einer Prüfmethode zur meßtechnischen Evaluation abrasiver Verschleißresistenz auf der Mikroskala
/ Andreas Wortmann. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 2002. - 133 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, IST; Nr. 17)
ISBN 978-3-8167-6240-9 / 3-8167-6240-9 kart. : EUR 43.00
Quelle: DNB
Entwicklungen und Anwendungen der Mikro- und Feinwerktechnik
: Vorträge der GMF-Fachtagung am 22. Januar 1993 anlässlich des VDE-Jubiläumskongresses '93 in Berlin / Veranst.: VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik (GMF). Wiss. Tagungsleitung: H. J. Todt. - Berlin : vde-Verl., 1993. - 46 S. : Ill., graph. Darst.; 30 cm - (GMF-Fachbericht; 2)
ISBN 978-3-8007-1915-0 / 3-8007-1915-0 geh. : DM 43.00
Literaturangaben
Quelle: DNB
Giovannetti, Federico: Entwicklung und Bewertung von hochwärmedämmenden Verglasungen mit mikrostrukturierter saisonaler Sonnenschutzfolie
/ von Federico Giovannetti. [Hrsg. Nabil A. Fouad]. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 2011. - VIII, 167 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Berichte des Instituts für Bauphysik der Leibniz-Universität Hannover; Nr. 3)
ISBN 978-3-8167-8635-1 / 3-8167-8635-9 kart. : EUR 30.00 (DE), EUR 30.90 (AT), sfr 50.50 (freier Pr.)
Quelle: DNB
Trieu, Hoc-Khiem: Entwicklung und Charakterisierung membran-elastisch gekoppelter Siliziumanordnungen als flexibles Substrat zur CMOS-kompatiblen Integration von 3D-Mikrosystemen
/ Hoc Khiem Trieu. Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 1998. - V, 127 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm
ISBN 978-3-8167-5168-7 / 3-8167-5168-7 kart.
Quelle: DNB
Eigler, Hans: Entwurf signalverarbeitender Mikrosysteme
: Einführung und Grundlagen / Hans Eigler. - Heidelberg : Hüthig, 1994. - XVI, 304 S. : Ill., graph. Darst.; 25 cm
ISBN 978-3-7785-2171-7 / 3-7785-2171-3 Pp. : DM 89.00
Quelle: DNB
Köhler, Michael: Etching in microsystem technology
/ Michael Köhler. Transl. by Antje Wiegand. - Weinheim : Wiley-VCH, 1999. - XVI, 368. : Ill., graph. Darst.; 25 cm
ISBN 978-3-527-29561-6 / 3-527-29561-5 Pp. : DM 298.00
Literaturverz. S. 345 - 360
Quelle: DNB
Fertigung in der Feinwerk- und Mikrotechnik
: Verfahren, Werkstoffe, Gestaltung / hrsg. von Werner Krause. [Autoren: Gerald Gerlach ...]. - München : Hanser, 1996. - 285 S. : graph. Darst.; 24 cm
ISBN 978-3-446-18226-4 / 3-446-18226-8 Pp. : DM 64.00
Literaturverz. S. 267 - 278
Quelle: DNB
Grundlagen der Mikrosystemtechnik
/ hrsg. von Gerald Gerlach und Wolfram Dötzel. - München : Hanser, 1997. - 217 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Hanser-Lehrbuch)
ISBN 978-3-446-18395-7 / 3-446-18395-7 kart. : DM 49.80, sfr 46.80, S 364.00
Literaturverz. S. 204 -213
Quelle: DNB
Raiber, Armin: Grundlagen und Prozeßtechnik für das Lasermikrobohren technischer Keramiken
/ von Armin Raiber. - Stuttgart : Teubner, 1999. - 126 S. : Ill., graph. Darst.; 23 cm - (Laser in der Materialbearbeitung)
ISBN 978-3-519-06248-6 / 3-519-06248-8 kart. : DM 98.00, sfr 88.00, S 715.00
Quelle: DNB
Handbuch Mikrotechnik
: 47 Tabellen / hrsg. von Wolfgang Ehrfeld. Mit Beitr. von Jochen Bähr .... - München : Hanser, 2002. - XIV, 520 S.. : Ill., graph. Darst.; 25 cm
ISBN 978-3-446-21506-1 / 3-446-21506-9 Pp. : EUR 99.00, sfr 165.00
Literaturangaben
Quelle: DNB
