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Schlagwort Nanoelektromechanik
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Resonant MEMS
: fundamentals, implementation and application / ed. by Oliver Brand .... - Weinheim : Wiley-VCH-Verl., 2015. - XXV, 483 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Advanced micro & nanosystems; Vol. 11)
ISBN 978-3-527-33545-9 / 3-527-33545-5 Pp. : EUR 159.00 (DE, freier Pr.)
Literaturangaben
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
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