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Staedler, Thorsten: Mechanische und tribologische Charakterisierung dünner Schichten mit Hilfe rastersondenbasierter Verfahren

/ Thorsten Staedler. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 2001. - 111 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, IST; Nr. 12)

ISBN 978-3-8167-6054-2 / 3-8167-6054-6 kart.

Quelle: DNB

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