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Schlagwort Siliciumsensor
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Elwenspoek, Miko: Mechanical microsensors
/ M. Elwenspoek ; R. Wiegerink. - Berlin : Springer, 2001. - X, 295 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Microtechnology and MEMS)
ISBN 978-3-540-67582-2 / 3-540-67582-5 Pp. : DM 129.00
Literaturverz. S. 274 - 290
Quelle: DNB
Sutor, Alexander: Siliziumsensoren zur mehrdimensionalen Bestimmung mechanischer Größen
/ Alexander Sutor. - Als Ms. gedr. - Düsseldorf : VDI-Verl., 2004. - XII, 111 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Fortschrittberichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik; Nr. 1034)
ISBN 978-3-18-503408-4 / 3-18-503408-2 kart. : EUR 41.00
Quelle: DNB
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