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Schlagwort Halbleitertechnologie
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Schließer, Jochen: Untersuchungen von Reinheitssystemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
/ Jochen Schließer. - Berlin : Springer, 1999. - 123 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (IPA-IAO-Forschung und Praxis; Bd. 281)
ISBN 978-3-540-65560-2 / 3-540-65560-3 kart. : DM 78.00
Quelle: DNB
