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Schlagwort Glimmentladung
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Franz, Gerhard: Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen
: Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik / Gerhard Franz. - 2., völlig neubearb. Aufl. - Berlin : Springer, 1994. - X, 434 S. : Ill., graph. Darst.; 25 cm
ISBN 978-3-540-57360-9 / 3-540-57360-7 Pp. : DM 148.00
Literaturverz. S. 397 - 416
Quelle: DNB
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