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Person Adachi, Hideaki
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Wasa, Kiyotaka: Thin films material technology
: sputtering of compound materials / by Kiyotaka Wasa ; Makoto Kitabatake ; Hideaki Adachi. - Norwich, NY : Andrew, 2004. - XIV, 518 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm
ISBN 978-3-540-21118-1 / 3-540-21118-7 Pp. : EUR 149.75
Literaturangaben
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
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