Lange, Dirk: CMOS cantilever sensor systems
: atomic force microscopy and gas sensing applications / D. Lange ; O. Brand ; H. Baltes. - Berlin : Springer, 2002. - VIII, 142 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Microtechnology and MEMS)
ISBN 978-3-540-43143-5 / 3-540-43143-8 Pp. : EUR 64.15
Literaturverz. S. 131 - 140
Quelle: DNB
CMOS-MEMS
/ vol. ed.: Oliver Brand ; Gary K. Fedder. - Weinheim : Wiley-VCH, 2013. - XIV, 594 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Advanced micro & nanosystems)
ISBN 978-3-527-33499-5 / 3-527-33499-8 kart. : EUR 69.00 (DE, freier Pr.), EUR 71.00 (AT, freier Pr.), sfr 89.00 (freier Pr.)
Literaturangaben
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
Enabling technologies for MEMS and nanodevices
/ ed. by Henry Baltes .... - 1. ed. - Weinheim : Wiley-VCH, 2013. - XII, 427 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm
ISBN 978-3-527-33498-8 / 3-527-33498-X kart. : ca. EUR 69.00 (DE) (freier Pr.), ca. EUR 71.00 (AT) (freier Pr.), ca. sfr 89.00 (freier Pr.)
Literaturangaben
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
Enabling technology for MEMS and nanodevices
/ ed. by H. Baltes .... - Weinheim : Wiley-VCH, 2004. - XII, 427 S. : Ill., graph. Darst.; 25 cm - (Advanced micro & nanosystems; Vol. 1)
ISBN 978-3-527-30746-3 / 3-527-30746-X Pp. : EUR 189.00, ca. sfr 279.00
Literaturangaben
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
