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Person Trieu, Hoc-Khiem
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Trieu, Hoc-Khiem: Entwicklung und Charakterisierung membran-elastisch gekoppelter Siliziumanordnungen als flexibles Substrat zur CMOS-kompatiblen Integration von 3D-Mikrosystemen
/ Hoc Khiem Trieu. Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 1998. - V, 127 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm
ISBN 978-3-8167-5168-7 / 3-8167-5168-7 kart.
Quelle: DNB
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