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Person Szyszka, Bernd
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Szyszka, Bernd: Reaktives Magnetronsputtern von transparenten und leitfähigen Oxidschichten
/ von Bernd Szyszka. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 2000. - 135 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, IST; Nr. 7)
ISBN 978-3-8167-5533-3 / 3-8167-5533-X kart.
Quelle: DNB
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