Proceedings / Organic Contamination Workshop, SEMICON Europa 2000
: Munich, Germany, April 7, 2000 / ed. by Lothar Pfitzner ; Jürgen Bügler. Fraunhofer Institute of Integrated Circuits, Erlangen, Germany. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 2000. - 203 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm
ISBN 978-3-8167-5551-7 / 3-8167-5551-8 kart. : DM 45.90
Literaturangaben
Quelle: DNB
Proceedings / Organic Contamination Workshop, SEMICON Europa 2001
: Erlangen, Germany, April 27, 2001 / ed. by Lothar Pfitzner ... Fraunhofer Institute of Integrated Circuits, Erlangen, Germany. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 2001. - 183 S. : überw. Ill. und graph. Darst.; 21 cm
ISBN 978-3-8167-5883-9 / 3-8167-5883-5 kart. : DM 66.00
Quelle: DNB