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Person Beneking, Heinz
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Beneking, Heinz: Halbleiter-Technologie
: eine Einführung in die Prozesstechnik von Silizium und III-V-Verbindungen / von Heinz Beneking. - Stuttgart : Teubner, 1991. - IX, 812 S. : graph. Darst.; 23 cm
ISBN 978-3-519-06133-5 / 3-519-06133-3 Pp. : DM 98.00
Literaturangaben
Quelle: DNB
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