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Person Hafkesbrink, Joachim
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Technologien für Mikrosysteme
: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik / Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink .... - Düsseldorf : VDI-Verl., 1993. - XVII, 221 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Mikro- und Nanotechnik)
ISBN 978-3-540-62228-4 / 3-18-401321-9 Pb. : EUR 49.00 (DE), EUR 49.99 (DE), EUR 50.37 (AT), EUR 51.39 (AT), sfr 76.00 (freier Pr.), sfr 62.50 (freier Pr.)
Literaturverz. S. 203 - 208
Quelle: DNB
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