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Person Graff, Klaus
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Graff, Klaus: Metal impurities in silicon device fabrication
/ Klaus Graff. - Berlin : Springer, 1995. - IX, 216 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Springer series in materials science; 24)
ISBN 978-3-540-58317-2 / 3-540-58317-3 Pp. : DM 118.00
Literaturverz. S. 201 - 214
Quelle: DNB
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