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Schlagwort Hochfrequenzsputtern
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Schütze, Andreas: PVD-Sputter-Abscheidung kubischer Bornitridschichten mittels hochfrequent angeregter Plasmen
/ Andreas Schütze. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 1997. - VI, 147 S. : Ill.,graph. Darst.; 21 cm - (Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, IST; Nr. 2)
ISBN 978-3-8167-5147-2 / 3-8167-5147-4 kart.
Quelle: DNB
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