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Schlagwort SIMOX
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Fröse, Diethelm: Herstellung und Analyse vergrabener Nitrid-Schichten in Si/SiO2/SIMOX-Systemen mittels Ionenstrahlmethoden
/ Diethelm Fröse. - Münster : Lit, 1995. - 134 S. : graph. Darst.; 21 cm - (Uni-Press-Hochschulschriften; Bd. 73)
ISBN 978-3-8258-2533-1 / 3-8258-2533-7 kart. : DM 24.80
Quelle: DNB
Gogl, Dietmar: Untersuchungen zur Realisierung hochtemperaturtauglicher EEPROM-Speicher in SIMOX-Technologie
/ Dietmar Gogl. Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS. [Fraunhofer-Informationszentrum Raum und Bau IRB]. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 1998. - XIII, 113 S. : graph. Darst.; 21 cm
ISBN 978-3-8167-5206-6 / 3-8167-5206-3 kart.
Quelle: DNB
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