3D and circuit integration of MEMS

/ edited by Masayoshi Esashi. - Weinheim, Germany : Wiley-VCH, 2021. - xii, 506 Seiten : Illustrationen; 25 cm, 1130 g

ISBN 978-3-527-34647-9 / 3-527-34647-3 Festeinband : circa EUR 329.00 (DE) (freier Preis)

Quelle: DNB

Plikat, Robert: Bemessungskriterien und neue Strukturelemente für laterale bipolare Leistungsbauelemente

/ von Robert Plikat. - Berlin : VDE-Verl., 2000. - XII, 173 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Forschungs-Report)

ISBN 978-3-8007-2588-5 / 3-8007-2588-6 kart. : DM 106.50, EUR 54.45, sfr 94.50, S 777.00

Quelle: DNB

Hori, Takashi: Gate dielectrics and MOS ULSIs

: principles, technologies and applications / Takashi Hori. - Berlin : Springer, 1997. - XIV, 352 S. : graph. Darst.; 24 cm - (Springer series in electronics and photonics; Vol. 34)

ISBN 978-3-540-63182-8 / 3-540-63182-8 Pp. : DM 128.00

Literaturverz. S. 325 - 341

Quelle: DNB

Zimmermann, Horst: Integrated silicon optoelectronics

: with 18 tables / Horst Zimmermann. - Berlin : Springer, 2000. - XVII, 329 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Springer series in photonics; 3)

ISBN 978-3-540-66662-2 / 3-540-66662-1 Pp. : DM 149.00

Literaturverz. S. 297 - 323

Quelle: DNB

Schulze, Jörg: Konzepte Silizium-basierter MOS-Bauelemente

: mit 29 Tabellen / Jörg Schulze. - Berlin : Springer, 2005. - XVIII, 428 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Halbleiter-Elektronik; Bd. 23)

ISBN 978-3-540-23437-1 / 3-540-23437-3 Pp. : ca. EUR 79.95, ca. sfr 132.00

Literaturverz. S. 409 - 428

Quelle: DNB Verlagsmeldungen

Ultraclean surface processing of silicon wafers

: secret of VLSI manufacturing / Takeshi Hattori (ed.). - Berlin : Springer, 1998. - XXVIII, 616 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm

ISBN 978-3-540-61672-6 / 3-540-61672-1 Pp. : DM 298.00

Literaturangaben

Quelle: DNB