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Person Kouptsidis, Stavros Johannes
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Kouptsidis, Stavros Johannes: Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid (c-BN) mit dem DC-Magnetron-Sputterverfahren
/ Stavros Johannes Kouptsidis. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 1998. - 119 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, IST; Nr. 4)
ISBN 978-3-8167-5203-5 / 3-8167-5203-9 kart.
Quelle: DNB
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