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Person Kodas, Toivo T.
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The chemistry of metal CVD
/ ed. by Toivo T. Kodas and Mark J. Hampden-Smith. - Weinheim : VCH, 1994. - XXIV, 530 S. : Ill., graph. Darst.; 25 cm
ISBN 978-3-527-29071-0 / 3-527-29071-0 Pp. : DM 228.00
Literaturangaben
Quelle: DNB
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