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Person Kleijn, Chris Rudolf
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Kleijn, Chris Rudolf: Modeling of chemical vapor deposition of Tungsten films
/ Chris R. Kleijn ; Christoph Werner. - Basel : Birkhäuser, 1993. - 138 S. : graph. Darst.; 23 cm - (Progress in numerical simulation for microelectronics; Vol. 2)
ISBN 978-3-7643-2858-0 / 3-7643-2858-4 Pp. : DM 91.00, sfr 82.00
Literaturangaben
Quelle: DNB
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