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Person Wiemer, Maik
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Wiemer, Maik: Silizium-Waferbonden
: Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik / Wiemer ; Herziger ; Geßner. - Düsseldorf : Verl. für Schweißen und Verwandte Verfahren, DVS-Verl., 1998. - 98 S. : graph. Darst.; 30 cm - (DVS-Berichte; Bd. 139)
ISBN 978-3-87155-499-5 / 3-87155-499-5 kart.
Literaturverz. S. 92 - 98
Quelle: DNB
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