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Person Westermann, Marc
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Westermann, Marc: Solid modeling applied to three-dimensional semiconductor process simulation
/ Marc Westermann. - 1. Aufl. - Konstanz : Hartung-Gorre, 1995. - XIV, 124 S. : graph. Darst.; 21 cm - (Series in microelectronics; Vol. 48)
ISBN 978-3-89191-947-7 / 3-89191-947-6 kart. : DM 88.00, sfr 88.00, S 636.00
Quelle: DNB
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