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Person Herzog, Olaf
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Herzog, Olaf: Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben
/ Olaf Herzog. - Berlin : Springer, 1997. - 123 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (IPA-IAO-Forschung und Praxis; Bd. 255)
ISBN 978-3-540-63563-5 / 3-540-63563-7 kart. : DM 88.00
Quelle: DNB
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