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Person Heuberger, Anton
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Mikromechanik
: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie / A. Heuberger (Hrsg.). - Korrigierter Nachdr. - Berlin : Springer, 1991. - XVII, 501 S. : Ill., graph. Darst.; 25 cm
ISBN 978-3-540-18721-9 / 3-540-18721-9 Pp. : DM 178.00
Literaturangaben
Quelle: DNB
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