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Schlagwort EBIC-Verfahren
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Jäger-Waldau, Gerold: Analyse physikalischer Eigenschaften trockenätzinduzierter Defekte in Silizium mit Rasterelektronen- und Rasterkraftmikroskopie
/ vorgelegt von Gerold Jäger-Waldau. - 1. Aufl. - Konstanz : Hartung-Gorre, 1994. - 130 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Konstanzer Dissertationen; Bd. 430)
ISBN 978-3-89191-804-3 / 3-89191-804-6 kart. : DM 78.00, sfr 81.00, S 566.00
Quelle: DNB
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