Kouptsidis, Stavros Johannes: Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid (c-BN) mit dem DC-Magnetron-Sputterverfahren
/ Stavros Johannes Kouptsidis. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 1998. - 119 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, IST; Nr. 4)
ISBN 978-3-8167-5203-5 / 3-8167-5203-9 kart.
Quelle: DNB
Schütze, Andreas: PVD-Sputter-Abscheidung kubischer Bornitridschichten mittels hochfrequent angeregter Plasmen
/ Andreas Schütze. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 1997. - VI, 147 S. : Ill.,graph. Darst.; 21 cm - (Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, IST; Nr. 2)
ISBN 978-3-8167-5147-2 / 3-8167-5147-4 kart.
Quelle: DNB
