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Schlagwort Vergrabene Schicht
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Fröse, Diethelm: Herstellung und Analyse vergrabener Nitrid-Schichten in Si/SiO2/SIMOX-Systemen mittels Ionenstrahlmethoden
/ Diethelm Fröse. - Münster : Lit, 1995. - 134 S. : graph. Darst.; 21 cm - (Uni-Press-Hochschulschriften; Bd. 73)
ISBN 978-3-8258-2533-1 / 3-8258-2533-7 kart. : DM 24.80
Quelle: DNB
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