EMLC 2005
: lectures held at the GMM conference, January 31 - February 03, 2005 in Dresden, Germany / 21th European Mask and Lithography Conference EMLC (former EMC). Conference chairperson: Uwe Behringer. Organizer: VDE/VDI Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM). In cooperation with Semiconductor Equipment and Materials Internat. - Berlin : VDE-Verl., 2005. - 297 S. : Ill., graph. Darst.; 30 cm - (GMM-Fachbericht; 45)
ISBN 978-3-8007-2875-6 / 3-8007-2875-3 kart. : EUR 150.00, sfr 237.00
Literaturangaben
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
EMLC 2006
: lectures held at the GMM conference, January 23 - 26, 2006 in Dresden, Germany ; with CD-ROM / 22nd European Mask and Lithography Conference EMLC. Conference chairperson: Uwe Behringer. Organizer: VDE/VDI Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM). In cooperation with: BACUS .... - Berlin : VDE-Verl., 2006. - 351 S. : Ill., graph. Darst.; 30 cm - (GMM-Fachbericht; 49)
ISBN 978-3-8007-2931-9 / 3-8007-2931-8 kart. : EUR 120.00, sfr 190.00
Literaturangaben
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
EMLC 2007
: lectures held at the GMM conference, January 22 - 26, 2007 in Grenoble, France / 23rd European Mask and Lithography Conference ... Uwe Behringer, conference chair, ed. .... - Berlin : VDE-Verl., 2007. - 1 CD-ROM : farb.; 12 cm - (Proceedings / SPIE, International Society for Optical Engineering; Vol. 6533)
ISBN 978-3-8007-3032-2 / 3-8007-3032-4 : EUR 180.00
Titel auf dem Behältnis
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
EMLC 2008
: lectures held at the GMM conference, January 21 - 24, 2008 in Dresden, Germany ; proceedings / 24th European Mask and Lithography Conference ... Uwe Behringer, conference chair, ed. .... - Berlin : VDE-Verl., 2008. - 1 CD-ROM; 12 cm
ISBN 978-3-8007-3079-7 / 3-8007-3079-0 : EUR 175.00
Titel auf dem Behältnis
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
Paetrow, Stephan: Enabling the digital age
: the history of ZEISS lithography optics / published by Carl Zeiss AG ; author: Stephan Paetrow. - Munich : Hanser, 2022. - 199 Seiten : Illustrationen; 26 cm
ISBN 978-3-446-47424-6 / 3-446-47424-2 Festeinband : circa EUR 25.00 (DE), circa EUR 25.70 (AT)
Quelle: DNB
Paetrow, Stephan: Wegbereiter der digitalen Zeit
: die Geschichte der ZEISS Lithographieoptik / herausgegeben von der Carl Zeiss AG ; Autor: Stephan Paetrow. - München : Hanser, 2022. - 199 Seiten : Illustrationen; 26 cm
ISBN 978-3-446-47389-8 / 3-446-47389-0 Festeinband : EUR 25.00 (DE), EUR 25.70 (AT)
Quelle: DNB
