Suchfeld einblenden
Schlagwort Atomschichtätzen
1 Treffer
Seite < 1 >
Lill, Thorsten: Atomic layer processing
: semiconductor dry etching technology / Thorsten Lill. - Weinheim : Wiley-VCH, 2021. - XIV, 284 Seiten : Illustrationen; 25 cm, 584 g
ISBN 978-3-527-34668-4 / 3-527-34668-6 Broschur : circa EUR 109.00 (DE) (freier Preis)
Quelle: DNB
Seite < 1 >
