Herzog, Olaf: Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben
/ Olaf Herzog. - Berlin : Springer, 1997. - 123 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (IPA-IAO-Forschung und Praxis; Bd. 255)
ISBN 978-3-540-63563-5 / 3-540-63563-7 kart. : DM 88.00
Quelle: DNB
Wiemer, Maik: Silizium-Waferbonden
: Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik / Wiemer ; Herziger ; Geßner. - Düsseldorf : Verl. für Schweißen und Verwandte Verfahren, DVS-Verl., 1998. - 98 S. : graph. Darst.; 30 cm - (DVS-Berichte; Bd. 139)
ISBN 978-3-87155-499-5 / 3-87155-499-5 kart.
Literaturverz. S. 92 - 98
Quelle: DNB
Ultraclean surface processing of silicon wafers
: secret of VLSI manufacturing / Takeshi Hattori (ed.). - Berlin : Springer, 1998. - XXVIII, 616 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm
ISBN 978-3-540-61672-6 / 3-540-61672-1 Pp. : DM 298.00
Literaturangaben
Quelle: DNB
