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Schlagwort Titanamide
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Intemann, Andreas S.: Eigenschaften von CVD-Titanverbindungsschichten aus metallorganischen Verbindungen für die Mehrlagenmetallisierung höchst integrierter Bauelemente
/ Andreas S. Intemann. - Prien am Chiemsee : Intemann, 1994. - 184 S. in getr. Zählung : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Wissenschaftliche Forschungsbeiträge Physik; Bd. [3])
ISBN 978-3-926323-80-4 / 3-926323-80-9 kart. : DM 22.00, sfr 18.00, S 154.00
Fälschlich als Bd. 2 der Schriftenreihe bezeichnet
Quelle: DNB
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