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Schlagwort Magnetronsputtern
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Kouptsidis, Stavros Johannes: Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid (c-BN) mit dem DC-Magnetron-Sputterverfahren

/ Stavros Johannes Kouptsidis. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 1998. - 119 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, IST; Nr. 4)

ISBN 978-3-8167-5203-5 / 3-8167-5203-9 kart.

Quelle: DNB

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Müller, Thomas: Abscheidung und Charakterisierung sulfidischer und selenidischer Schichten für das schmiermittelfreie Zerspanen und Umformen

/ Thomas Müller. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 2002. - 162 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, IST; Nr. 14)

ISBN 978-3-8167-6091-7 / 3-8167-6091-0 kart.

Quelle: DNB

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Jäger-Waldau, Arnulf: Herstellung und Charakterisierung der Übergangsmetallchalkogenide MoS2, MoSe2, WS2 und WSe2 als Dünnfilme für die Photovoltaik

/ vorgelegt von Arnulf Jäger-Waldau. - 1. Aufl. - Konstanz : Hartung-Gorre, 1993. - 77 S.; 21 cm - (Konstanzer Dissertationen; Bd. 381)

ISBN 978-3-89191-669-8 / 3-89191-669-8 kart. : DM 68.00

Quelle: DNB

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Reactive sputter deposition

/ D. Depla ... ed.. - Berlin : Springer, 2008. - Online-Ressource - (Springer series in materials science; 109)

ISBN 978-3-540-76664-3

Lizenzpflichtig

Quelle: DNB

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Szyszka, Bernd: Reaktives Magnetronsputtern von transparenten und leitfähigen Oxidschichten

/ von Bernd Szyszka. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 2000. - 135 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, IST; Nr. 7)

ISBN 978-3-8167-5533-3 / 3-8167-5533-X kart.

Quelle: DNB

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