Beneking, Heinz: Halbleiter-Technologie
: eine Einführung in die Prozesstechnik von Silizium und III-V-Verbindungen / von Heinz Beneking. - Stuttgart : Teubner, 1991. - IX, 812 S. : graph. Darst.; 23 cm
ISBN 978-3-519-06133-5 / 3-519-06133-3 Pp. : DM 98.00
Literaturangaben
Quelle: DNB
Lojek, Bo: History of semiconductor engineering
/ Bo Lojek. - Berlin : Springer, 2007. - XI, 387 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm
ISBN 978-3-540-34257-1 / 3-540-34257-5 Pp. : EUR 85.55 (freier Pr.), ca. sfr 135.50 (freier Pr.)
Literaturangaben
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
Elwenspoek, Miko: Mechanical microsensors
/ M. Elwenspoek ; R. Wiegerink. - Berlin : Springer, 2001. - X, 295 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Microtechnology and MEMS)
ISBN 978-3-540-67582-2 / 3-540-67582-5 Pp. : DM 129.00
Literaturverz. S. 274 - 290
Quelle: DNB
Höfflinger, Bernd: Neuere Entwicklungen der Silizium-Mikroelektronik
/ Bernd Höfflinger. - Opladen : Westdt. Verl., 1991. - 55 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Vorträge / Rheinisch-Westfälische Akademie der Wissenschaften : N, Natur-, Ingenieur- und Wirtschaftswissenschaften; N 386)
ISBN 978-3-531-08386-5 / 3-531-08386-4 kart. : DM 16.00
Quelle: DNB
Proceedings / Organic Contamination Workshop, SEMICON Europa 2000
: Munich, Germany, April 7, 2000 / ed. by Lothar Pfitzner ; Jürgen Bügler. Fraunhofer Institute of Integrated Circuits, Erlangen, Germany. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 2000. - 203 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm
ISBN 978-3-8167-5551-7 / 3-8167-5551-8 kart. : DM 45.90
Literaturangaben
Quelle: DNB
Proceedings / Organic Contamination Workshop, SEMICON Europa 2001
: Erlangen, Germany, April 27, 2001 / ed. by Lothar Pfitzner ... Fraunhofer Institute of Integrated Circuits, Erlangen, Germany. - Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl., 2001. - 183 S. : überw. Ill. und graph. Darst.; 21 cm
ISBN 978-3-8167-5883-9 / 3-8167-5883-5 kart. : DM 66.00
Quelle: DNB
Prozesstechnologie
: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen / G. Schumicki ; P. Seegebrecht. Unter Mitarb. von N. Bündgens .... - Berlin : Springer, 1991. - XVI, 497 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Mikroelektronik)
ISBN 978-3-540-17670-1 / 3-540-17670-5 kart. : DM 118.00
Literaturverz. S. 469 - 488
Quelle: DNB
Dorner, Johann: Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelkontamination von Reinstgasversorgungskomponenten
/ Johann Dorner. - Berlin : Springer, 1999. - 114 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (IPA-IAO-Forschung und Praxis; Bd. 282)
ISBN 978-3-540-65562-6 / 3-540-65562-X kart. : DM 78.00
Quelle: DNB
Ellinger, Frank: Radio frequency integrated circuits and technologies
/ Frank Ellinger. - 2. ed. - Berlin : Springer, 2008. - XIV, 516 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm
ISBN 978-3-540-69324-6 Pp. : EUR 74.85 (freier Pr.), sfr 116.50 (freier Pr.)
Literaturangaben
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
SchOHTA
: Handbuch Schichten, Oberflächen, Halbleiter-Technologien und Anwendungen und deren Anbieter in Deutschland, Schweiz und Österreich / hrsg. vom VDI-Technologiezentrum Düsseldorf und Forschungszentrum Jülich in Kooperation mit dem Institut für Physik der Universität Basel und dem Ausseninstitut der TU Wien. - 2. Aufl. - Stuttgart : Raabe, 1995. - 643 S. : graph. Darst.; 25 cm
ISBN 978-3-88649-307-4 / 3-88649-307-5 kart. : DM 98.00, DM 89.00 (Sonderpr. für Beiträger)
Quelle: DNB
