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Prozesstechnologie

: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen / G. Schumicki ; P. Seegebrecht. Unter Mitarb. von N. Bündgens .... - Berlin : Springer, 1991. - XVI, 497 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Mikroelektronik)

ISBN 978-3-540-17670-1 / 3-540-17670-5 kart. : DM 118.00

Literaturverz. S. 469 - 488

Quelle: DNB

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