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Stratil, Peter: Optische In-situ-Meßtechniken bei der Entwicklung und Anwendung von plasmaunterstützten Oberflächentechniken für räumlich ausgedehnte und komplexe Geometrien ; mit 14 Tabellen

/ Peter Stratil. - Berlin : Springer, 1998. - 146 S. : Ill., graph. Darst.; 21 cm - (IPA-IAO-Forschung und Praxis; Bd. 265)

ISBN 978-3-540-64400-2 / 3-540-64400-8 kart. : DM 88.00

Quelle: DNB

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