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Person Frühauf, Joachim
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Frühauf, Joachim: Shape and functional elements of bulk silicon microtechnique
: a manual of wet etched silicon structures / Joachim Frühauf. - Berlin : Springer, 2005. - XII, 221 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm
ISBN 978-3-540-22109-8 / 3-540-22109-3 Pp. : EUR 106.95 (freier Pr.), sfr 169.00 (freier Pr.)
Literaturangaben
Quelle: DNB Verlagsmeldungen
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