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Person Saile, Volker
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MEMS, Mikroelektronik, Systeme
: proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe / chairman: Prof. Dr. Volker Saile, Karlsruher Instiutt für Technologie (KIT). - Berlin : VDE Verlag GmbH, 2015. - 1 CD-ROM
ISBN 978-3-8007-4100-7 / 3-8007-4100-8 : EUR 307.40 (AT), EUR 299.00 (DE)
Quelle: DNB
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