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Person Kroll, Ulrich Justus
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Kroll, Ulrich Justus: VHF-Plasmaabscheidung von amorphem Silizium
: Einfluss der Anregungsfrequenz, der Reaktorgestaltung sowie Schichteigenschaften / von Ulrich Justus Kroll. Université de Neuchâtel, Institut de Microtechnique. - 1. Aufl. - Konstanz : Hartung-Gorre, 1995. - 89 S.; 21 cm
ISBN 978-3-89191-905-7 / 3-89191-905-0 kart. : DM 88.00, sfr 88.00, S 636.00
Quelle: DNB
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