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Schlagwort Kantilever
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Lange, Dirk: CMOS cantilever sensor systems
: atomic force microscopy and gas sensing applications / D. Lange ; O. Brand ; H. Baltes. - Berlin : Springer, 2002. - VIII, 142 S. : Ill., graph. Darst.; 24 cm - (Microtechnology and MEMS)
ISBN 978-3-540-43143-5 / 3-540-43143-8 Pp. : EUR 64.15
Literaturverz. S. 131 - 140
Quelle: DNB
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